Лаборатория электрофизических свойств плёнок и структур

 

Задачи лаборатории: Измерение электрофизических  характеристик микро- и нано- структур, полупроводниковых приборов и тестовых элементов. Разработка методологии электрофизических измерений.

Область применения измерительного оборудования: Микроэлектроника и полупроводниковые приборы. Силовая электроника. Обучение студентов и повышение квалификации инженеров.

Установка для измерения статических и высокочастотных емкостных характеристик собрана на базе прецизионного RLC измерителя E4980A фирмы Agilent Technologies (США). Она позволяет проводить измерения частотных ёмкостных характеристик, токов утечки приборных наноструктур, исследовать процессы зарядки-разрядки, обмена зарядом наночастиц. Частотный диапазон измерений 20 Гц - 2 МГц, есть возможность измерять статическую вольтамперную характеристику. Установка подключена к зондовой станции «Cascade Microtech» М-150 с микропозиционерами с зондами и триаксиальными кабелями, что дает возможность проводить измерения на пластинах диаметром до 150 мм. Уровень шума не превышает ±5 фА.

Установка для слаботочных измерений вольт-амперных характеристик предназначена для исследования структур с малыми рабочими токами (диапазон измерений 1 фА - 20 мА) Пример направлений использования: измерения проводимости и подвижности в высокоомных пленках, туннельных явлений в диэлектрике, температурной зависимости проводимости, эффекта поля, одноэлектронного транспорта.

Установка функционирует на базе приборов фирмы Keithley:

Keithley 6430 – субфемтоамперный источник-измеритель с дистанционным предусилителем, шум на входе составляет

Keythley 6517А – высокоомный измеритель малых токов с высоким разрешением (от 10 аА), высоких сопротивлений пета-и эксаомного (до 1018 Ом) диапазонов, напряжений от источников с высоким импедансом, содержит встроенный источник питания на ±1 кВ;

Keythley 2400 – прецизионный четырѐхквадрантный источник тока и напряжения, может одновременно работать как источник и измеритель тока от 10 фА до 10 А в импульсном режиме и/или напряжения от 100 нВ до 200 В с общей выходной мощностью 1000 Вт по импульсному току и 100 Вт по постоянному току.

Подключение к измерительной ячейке с камерой для образцов LTS420E фирмы Linkam позволяет проводить измерения температурной зависимости проводимости или сопротивления, а также измерения ВАХ при заданной температуре. Температурный диапазон работы ячейки от -196оС до +420оС.

Установка измерительная электронная для измерения характеристик высоковольтных, сильноточных приборов, исследования явлений пробоя в диэлектриках позволяет осуществлять проведение макетных испытаний проработанных силовых устройств; измерение характеристик сильноточных, высоковольтных дискретных приборов (резисторов, диодов, транзисторов, тиристоров); изучение явлений пробоя. Диапазон по напряжению 1 мкВ - 1100 В, по токам от 10 фА до единиц ампер.

Отделение: 
Диагностическое
Контакты: 

Камаев Геннадий Николаевич
e-mail: kamaev@isp.nsc.ru

Аржанникова София Андреевна
e-mail: nsm@nsm.nsu.ru