Лаборатория растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии

 

Лаборатория располагает растровым (сканирующим) электронным микроскопом JCM-5700 CarryScope производства компании JEOL Ltd. (Япония). В комплект прибора входят также энергодисперсионный детектор (ED) PentaFet Precision с дополнительными модулями X-stream-2 и MicsF+ для проведения элементного анализа поверхностей образцов. Определяемы химические элементы тяжелее бора.

 

Технические особенности РЭМ JCM-5700 CarryScope:

- Предельное латеральное разрешение 5 нм

- Ускоряющее напряжение 0.5 – 20 кВ

- Увеличение 8х – 300'000х

- Допустимый размер образцов – 150 мм в диаметре и 43 мм в высоту

 

Комбинированная зондовая (АСМ/СТМ) станция СОЛВЕР НЕКСТ от отечественной компании НТ-МДТ (г. Зеленоград, Москва). Современный сканирующий зондовый микроскоп - оптико-электронная система для исследования поверхностной морфологии и дефектов, а также для исследований механических характеристик наноматериалов, наноманипулирования структурами и литографии. Объединение сканирующего туннельного микроскопа в одном корпусе с атомно-силовым микроскопом позволяет проводить широкий спектр исследований образцов различной электропроводности, шероховатости и деформируемости в условиях комнатной среды.

РЭМ и СЗМ микроскопы используются в отделе АТИЦ для характеризации тонких плёнок, катализаторов и квазиодномерных полупроводниковых структур, а также активно задействованы в образовательном процессе в НГУ для обучения студентов основам нанометрологии.

http://ism-data.misis.ru/index.php/lectures-rem

 

Отделение: 
Диагностическое
Контакты: 

Гартвич Георгий Георгиевич
e-mail: ggg@srd.nsu.ru
тел. +73833634426
 
Гейдт Павел Викторович
e-mail: p.geydt@nsu.ru
тел. +79168878598