Лаборатория высоковакуумной туннельной микроскопии и электронной литографии

 

Сверхвысоковакуумный сканирующий туннельный микроскоп STM VT OMICRON позволяет в сверхвысоковакуумных условиях (10-11 Торр) получать атомное изображение поверхности металлов и полупроводников, в том числе кремния, посредством регистрации туннельного тока между зондом и близко подведенной к нему исследуемой поверхности. Микроскоп оборудован титановым ионным насосом и турбомолекулярным насосом. В колонне микроскопа заложена возможность прогрева образцов до 1500ОС, что позволяет отжигать и очищать поверхность кремниевых образцов. Дополнительная система позиционирования, позволяет проводить сканирование поверхности непосредственно после эпитаксии или сублимации. Микроскоп оборудован ячейками напуска кислорода и системой эпитаксиального напыления на поверхность кремния или германия. Разрешающая способность микроскопа определяется разрешающей способностью иглы и соответствует размеру отдельного атома в латеральных направлениях и до 0.01 нм в вертикальном направлении.

Основной научной задачей, на решение которой направлена деятельность на микроскопе, - исследование элементарных структурных процессов на поверхности полупроводников и металлов для создания наносистем и новых материалов с уникальными свойствами.

 

Комбинированная станция для электронно-лучевой литографии и сканирующей (растровой) электронной микроскопии высокого разрешения. Сканирующий электронный микроскоп – литограф Pioneer производства фирмы Raith (Германия) сочетает в себе выскоразрешающий электронный микроскоп и прецизионный электронно-лучевой литограф. При этом приоритет использования инструмента в отделе АТИЦ отдается исследователям с задачами именно электронной литографии.

Основные характеристики СЭМ-литографа Raith Pioneer:

  • Имеет компактную электронно-литографическую систему с термической полевой эмиссией катода.

  • В нём используется ускоряющее напряжение до 30 кВ. При напряжении 20 кВ и апертуре 30 мкм электронный пучок током 0.22 нА, сфокусированный на образце, имеет диаметр около 2.4 нм.

  • Позволяет проведение электронной литографии с возможностью изготавления линий шириной 20 нм на участках размером до 2 дюймов посредством использования прецизионного лазерного позиционирования столика.

  • Имеет функции управления электронным пучком, ускоряющие процесс экспонирования литографических элементов с регулярными формами.

Сканирующий электронный микроскоп – литограф Pioneer используется в АТИЦ для изучения морфологии поверхностей, а также для электронно-литографического изготовления функциональных полупроводниковых наноструктур.

 

Отделение: 
Диагностическое
Контакты: 

Шкляев Александр Андреевич
e-mail: alexsan@mail.ru

тел.:+7 913 0010085, вн. 5082